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微结构表面光学元件在军事、航天、能源等领域有广泛的应用,是光电子系统中的核心元件。传统的多轴铣削难以满足加工精度且效率低,其它的新型加工方法也存在着各种不足。而使用超精密车削加工技术可以直接车削加工出纳米级精度的微结构表面。快刀伺服刀架是加工微结构表面的关键,它决定了系统可以加工的微结构表面的复杂程度和加工后的表面精度,所以快速刀具定位系统FTS必须要能够实现高频率和高精度的进给。由于刀架-快速刀具定位器的核心部件具有迟滞特点,增加了FTS的进给误差,因此对压电陶瓷建立了传感反馈控制机制,实现了对快刀伺服刀架的精确控制,且稳定性好,精度较高,易集成。

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